Auto SE
Auto SE je novi alat za merenje tankih filmova koji omogućava potpuno automatsku analizu uzoraka tankih filmova jednostavnim pritiskom na dugme.
Analiza uzoraka traje samo nekoliko sekundi i pruža kompletan izveštaj koji u potpunosti opisuje sloj tankog filma – uključujući debljine filmova, optičke konstante, hrapavost površine i nehomogenosti filma.
Auto SE je instrument sa mnogo funkcija koji uključuje automatsku XYZ platformu, snimanje u realnom vremenu mesta merenja i automatski izbor veličine tačke. Mnogi dodaci su dostupni kako bi odgovarali širokom spektru primena.
Auto SE uključuje ugrađene dijagnostičke indikatore za automatsko otkrivanje i dijagnostikovanje problema, sa sveobuhvatnim uputstvima za operatera za rešavanje problema.
Auto SE se ističe svojom lakoćom korišćenja i brojnim automatskim funkcijama koje čine Auto SE ključnim instrumentom idealnim za rutinsko merenje tankih filmova i kontrolu kvaliteta uređaja.
Funkcije
- Analiza tankog filma olakšana automatskim rutinama
- Sistem sa mnogo funkcija
- Vizija uzorka
- Mikro tačka do 25x60 µm
- Veliki izbor dodatne opreme
Specifikacija
- Spektralni opseg: 440-1000 nm
- Veličine tačaka: automatski izbor 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
- Detekcija: CCD – Rezolucija: 2nm
- Postolje za uzorke: vakuumski držači, z visina 40 mm
- Pregled uzorka: CCD kamera - Vidno polje: 1.33x1 mm – Rezolucija: 10µm
- Goniometar: Fiksiran na 70° - Moguće podešavanje na 66° i 61.5°
- Brojni dodaci
- Vreme merenja: <2s, tipično 5s
- Tačnost: NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
- Ponovljivost: NIST 15nm ± 0.2 Å