UVISEL Plus elipsometar nudi najbolju kombinaciju modularnosti i performansi za naprednu karakterizaciju tankih filmova, površina i interfejsa.

Novi UVISEL Plus uključuje najnoviju tehnologiju akvizicije dizajniranu da meri brže i preciznije nego ikada. FastAcq, najnovija tehnologija akvizicije, bazirana je na dvostrukoj modulaciji, dizajniranoj za karakterizaciju tankih filmova u stvarnom svetu. Bazirana na novoj elektronici, obradi podataka i brzom monohromatoru, nova FastAcq tehnologija omogućava merenje uzorka od 190 do 2100nm da bude završeno u roku od 3 minuta, uz visoku rezoluciju.

Baziran na tehnologiji fazne modulacije, UVISEL Plus elipsometar pruža snažan optički dizajn za kontinuirano pokrivanje spektralnog opsega od 190 do 2100 nm. Podaci visokog kvaliteta se isporučuju preko celog spektralnog opsega u smislu visoke preciznosti, merenja visoke rezolucije i odličnog odnosa signal-šum.

Tehnologija fazne modulacije karakteriše promene polarizacije na visokoj frekvenciji (50 kHz), i bez ikakvog mehaničkog pokreta. Rezultira u:

• Visoko preciznim merenjima za sve vrednosti (Ψ,Δ)
• Odličnom odnosu signal/šum od FUV do NIR
• Veoma brzoj brzini akvizicije podataka do 50 ms/tačka idealnoj za kinetičke studije i in-situ merenja u realnom vremenu

UVISEL Plus elipsometar sa faznom modulacijom postiže veću osetljivost i preciznost za karakterizaciju tankih filmova u poređenju sa konvencionalnim elipsometrima koji koriste rotirajuće elemente. Omogućava detekciju veoma tankih filmova ili interfejsa koje nijedan drugi elipsometar ne može da vidi, kao i karakterizaciju debelih slojeva do 50µm. Merenje i karakterizacija transparentnih uzoraka sa refleksijama sa zadnje strane su jednostavni i precizni i ne zahtevaju grebanje zadnje strane.

Dizajniran za poboljšanu fleksibilnost za merenja tankih filmova, UVISEL Plus nudi mikrotačke za uzorke sa šarama, promenljiv ugao, automatsku mapirajuću platformu i razne dodatke, čineći ga skalabilnim da zadovolji sve vaše potrebe za aplikacijama i budžetom.
Modularni dizajn UVISEL Plus čini ga pogodnim za korišćenje ili kao laboratorijski alat za metrologiju, ili za in-situ integraciju na procesnim komorama ili mašinama za rolne.

UVISEL Plus se kontroliše ili putem DeltaPsi2 softverske platforme ili Auto-Soft interfejsa koji su zajednički za sve HORIBA elipsometre. DeltaPsi2 pruža kompletan paket za merenje i modeliranje omogućavajući rešavanje i rutinskih i naprednih aplikacija tankih filmova, dok Auto-Soft interfejs nudi intuitivan tok rada za ubrzanje prikupljanja podataka i analize.

UVISEL Plus i njegova FastAcq tehnologija je najraznovrsniji spektroskopski elipsometar za merenje debljine tankih filmova i optičkih konstanti u oblastima istraživanja i obrade materijala, ravnih panela, mikroelektronike i fotonaponskih ćelija.

UVISEL Plus se smatra referentnim elipsometrom za vrhunsku nauku o materijalima.